微机电系统的构成既是一个信息系统,也是一个功能系统,主要有微驱动器、微传感器、微执行器、微处理器和微能源等要素组成。微机电系统微机电系统(MEMS,Micro-Electro-MechanicSystem)是一种先进的制造技术平台,微机电系统是在微电子技术和微机械技术基础上发展起来的多学科交叉的新领域。1、什么是微机电系统,有什么具体的应用?微机电系统微机电系统(MEMS,Micro-Electro-MechanicSystem)是一种先进的制造技术平台。它是以半导体制造技术为基础发展起来的,是集微型机构...
更新时间:2022-08-02标签: 能源什么是微能源 全文阅读